此前我國微機電系統(tǒng)（也就是MEMS）領域一直面臨射頻參數(shù)計量標準空白，同時在信號完整性檢測、可靠性研究方面的技術能力也存在明顯短板。針對這一產業(yè)發(fā)展痛點，市場監(jiān)管總局近期牽頭組織國內多家相關科研機構開展技術攻關，聚焦MEMS關鍵射頻參數(shù)的計量測試技術深耕突破，成功大幅提升了我國在MEMS介電常數(shù)、脈沖波形、光子鏈路定位、電磁輻射等核心參數(shù)方面的計量測試能力，徹底解決了MEMS關鍵射頻參數(shù)無法精準計量測試、難以落地應用的核心問題。

本次技術攻關取得了多項亮眼成果，研究團隊成功研制出基材介電常數(shù)計量裝置、太赫茲波形計量裝置、光子鏈路定位參數(shù)計量裝置、微互連電磁泄漏總輻射功率測試裝置，以及微機電系統(tǒng)電接觸和互連電參數(shù)測試裝置等多款核心設備，其中多項設備的技術指標已經達到國際先進水平。除此之外，研究團隊還牽頭完成了《皮秒級快沿/脈沖發(fā)生器校準規(guī)范》等3項國家計量技術規(guī)范的起草工作，進一步完善了我國微機電系統(tǒng)測量以及相關儀器儀表領域的質量保障體系，為行業(yè)規(guī)范化發(fā)展打下了堅實基礎。

現(xiàn)階段，本次攻關取得的相關研究成果已經進入5G高頻器件、光電集成器件以及機載光網(wǎng)絡等領域開展示范應用，不僅為我國濾波器等5G高頻器件的創(chuàng)新研發(fā)提供了助力，還保障了相關設備故障診斷定位的準確性與可靠性，為我國新一代信息技術、航空航天等戰(zhàn)略性新興產業(yè)的高質量發(fā)展提供了有力的計量支撐。

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原標題：《部分指標達國際先進 我國微機電系統(tǒng)關鍵射頻參數(shù)計量技術取得突破》

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